lcd万级装配车间 

　　洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

等数ISO空气洁净	大于或等于表中粒径的最大浓度限值（P/m -空气）								洁净等级美国联邦209E
	0.1um	0.2um	0.3um	0.5um		1um	5um
ISO Class1	10	2
ISO Class2	100	24	10	4
ISO Class3	1000	237	102	35	8			1
ISO Class4	10000	2370	1020	352	83			10
ISO Class5	100000	23700	10200	3520	832		29	100
ISO Class6	1000000	237000	102000	35200	8320		293	1000
ISO Class7				352000	83200		2930	10000
ISO Class8				3520000	832000		29300	100000
ISO Class9				35200000	8320000		293000	300000