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lcd万级装配车间 

发布时间:2015/01/05

  洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

等数ISO空气洁净
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(P/m -空气)
洁净等级美国联邦209E
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
ISO Class1 10 2
ISO Class2 100 24 10 4
ISO Class3 1000 237 102 35 8 1
ISO Class4 10000 2370 1020 352 83 10
ISO Class5 100000 23700 10200 3520 832 29 100
ISO Class6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 1000
ISO Class7 352000 83200 2930 10000
ISO Class8 3520000 832000 29300 100000
ISO Class9 35200000 8320000 293000 300000

地址:沈阳浑南新区世纪路19号自动化大厦610室    热线:15802466696
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